导读 半导体芯片生产可以说是制造业的皇冠,而光刻机就是皇冠上的明珠,EUV 光刻机则是明珠之光,其设计之复杂远超一般工业设备。

目前 EUV 光刻机只有荷兰 ASML 公司能够生产,Q3 季度他们交付了 7 台 EUV 光刻机,但获得了 23 台 EUV 光刻机订单,每台价格超过 1 亿欧元。

ASML 公司今天发布了 2019 年 Q3 季度财报,当季营收 29.87 亿欧元,同比增长 7.6%,运营利润 13.07 亿欧元,净利润 6.27 亿欧元,与去年同期的 6.8 亿欧元有所下滑,不过这主要是今年 Q3 季度的研发支出增加了 25%。

今年 Q3 季度中,台积电已经开始量产 EUV 工艺,所以 ASML 公司的 EUV 交付及订单也创了记录,当季交付了 7 台 EUV 光刻机,同时获得了 23 台 EUV 光刻机的订单量,创造了历史最高水平,算上其他光刻机,ASML 手握的订单总额高达 51 亿欧元。

ASML 最新的 EUV 光刻机是 NEX:3400C 型号,已经达到了量产标准,Q3 季度中交付的 7 台 EUV 光刻机中有 3 台是 NEX:3400C,Q4 季度中预计交付 8 台 EUV 光刻机,总价值高达 9.5 亿欧元,平均每台价格达到了 1.2 亿欧元,折合人民币 9.4 亿元,堪称人类最昂贵的设备了。

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